詳細説明
FRn03Pシリーズのマイクロフローガス質量流量センサは、様々なマイクロフロープロセス制御アプリケーション向けに特別に設計されています。このシリーズの製品はMEMS熱原理を採用しており、乾燥したクリーンなガスに適しています。
用途
このセンサーは表面実装型なので、限られたスペースでの複数センサーの統合に特に適しています。
特長
- 非常に低い始動流量で高いセンサー感度を実現
- 表面実装、コンパクトな構造
- 複数の信号出力オプション
- フルスケールにわたる高い安定性と再現性
技術仕様
| 値 | ユニット | ||
| 流量測定 | 最大流量 | 50/100/200/300/400/500 1000/2000/3000/4000/5000 | SCCM |
| 測定精度 | ±（2+0.5FS） | % | |
| 再現性 | 0.50 | % | |
| 最大 作動圧力 | 500 | kPa | |
| 最大流量時の圧力降下 | ≤60 ≤1000 | Pa | |
| 使用温度 | 0〜50 | ℃ | |
| 信号出力 | 出力モード | デジタルI²Cおよびアナログ0.5V～4.5VDC | |
| I²C通信速度 | 100 | kHzの | |
| 信号応答時間 | ≤50 | ms | |
| 電気的特性 | 動作電圧 | 5〜15 | VDC |
| 動作電流 | ≤30 | mA | |
| 電気的インターフェース | PH2.0-5Pプラグインコネクタ | ||
| その他 | 保管温度 | -20〜65 | ℃ |
| 測定媒体 | 乾燥した、清浄な非腐食性ガス |
※当社のフローセンサは、標準で20℃、101.325 kPaの空気を用いて校正されています。製造環境は、温度22±2℃、クリーンルーム（30%～35%RH）です。特別なご要望がある場合は、お客様のご要望に応じて校正いたします。
※記載内容および仕様は予告なく変更される場合がございますので、ご注文前に最新情報をお問い合わせください。
技術サポート：
カスタマイズされた技術設計と機能、ロゴ、パッケージは、大量生産の場合、追加料金（成形費を含む）なしで利用できます。
センサーにはスリープ モードがありません。必要に応じてプログラムで設定できます。
Winsen のすべての製品は、出荷前に厳格な検査とテストを受け、100% の合格であることが確認されています。
センサーは工場出荷前に完全にテスト済み（校正なし）ですが、モジュールは工場出荷前に校正されます。
ただし、輸送や保管後は環境条件が変化し、センサーの表面が水分、混合ガス、汚染物質などを吸収します。デバイス全体のプログラムや使用状況に応じて、センサーが安定した後にエージングとキャリブレーションを実行することをお勧めします。
15﹪～90﹪RH（結露なし）。この範囲外または長期間の高温高湿度はセンサーの寿命に影響します。
当社のセンサーは、さまざまな用途に応じて、CE、3C、ROHS、防爆、防火、石炭採掘安全の認証を取得しています。また、新しい認証の取得もサポートしています。
輸送中の断線、中毒、敏感な素材の落下、加熱線（デバイス）の損傷など、多くの要因がセンサーの故障の原因となります。Winsen のアフターサービスで各カテゴリの具体的な原因を見つけてください。
Winsenは販売前と販売後に専門的なコンサルティングとサービスを提供しています。お客様のご要望に最適なセンサーを推奨します。何か問題がありましたら、お気軽にメールでお問い合わせください。 sales@winsensor.com
毎日大量のメールが届き、時間帯も異なるため、すぐに返信できない場合がございます。ただし、お問い合わせには 24 営業時間以内に返信いたします。
