製品刷新、エクスペリエンスのアップグレード:新FRnシリーズMEMSサーマルマスフローセンサーが発売開始
In 産業プロセス制御、環境モニタリング、医療機器、エネルギー管理リアルタイムのガス流量測定は、正確で、再現性があり、長期間にわたって安定していなければなりません。熱式質量流量センサーは、次のような利点があるため、要求の厳しいアプリケーションで好まれる手法となっています。 シンプルな構造、低圧力損失、広い測定範囲.
ウィンセンの 新世代FRnシリーズ 実績のある FR プラットフォームを基盤とし、エンジニアが最も重視する点に重点を置いています。 ドリフト抑制、強力な長期安定性(ゼロおよびフルスケール)、および容易な統合—今なら I²Cデジタル出力およびアナログ電圧出力オプション.
熱質量ガス流量センサーとは何ですか?

A 熱質量流量センサー 熱伝達を利用して流量を測定します。典型的なMEMSの熱設計では、
- A マイクロヒーター 流路に熱を加えます。
- 温度センサー(多くの場合、上流と下流に配置)は、移動するガスが温度場をどのように変化させるかを検出します。
- 結果として得られる温度差(または関連信号)は、流量値に変換されます。
このアーキテクチャは、熱質量流量センシング設計 (ヒーター + 複数の温度センサー) で広く使用されています。
「マスフロー」がなぜ価値があるのか
測定は 質量流量に関連する熱伝達熱センサーは、 再現可能な制御 (比例制御、サンプリング、安定したプロセス制御など)といった課題に対応します。Winsen氏はまた、熱質量センサーが産業用制御、ポータブル機器、環境モニタリングなど幅広い分野に適していることを強調しています。
新しいFRnシリーズ:安定性の向上、よりクリーンな出力オプション
Winsenのフローセンサーラインナップページでは、FRnシリーズのモデルには以下が含まれます。 FRn03P、FRn03H、FRn06、およびFRn20.
その中で、マイクロフロー バージョンは、コンパクトなシステムと緊密な統合向けに位置付けられています。
FRn03H: ゼロ点およびフルスケールの安定性が向上
FRn03HはFR03Hをベースにしたアップグレードとして説明されており、 ゼロ点安定性とフルスケール信号安定性が大幅に向上低圧力損失と幅広いガス計測用途をサポートします。
FRn03P: 表面実装型MEMS熱式マイクロフローセンシング
FRn03Pはマイクロフロープロセス制御用に設計されており、 MEMS熱原理、そして、 乾燥したクリーンなガス。 また、サポートしています 表面実装設置に適しています。 限られた空間でのマルチセンサー統合.
エンジニアが気づく主な利点
1) 超低始動流量 + 高感度
FRn03Pのマニュアルには、 非常に低い始動流量で高感度 コア機能として、サンプリング、投与、マイクロ制御ループにおける微妙なフローの変化を検出するために重要です。
2) 長期的な信号安定性と再現性
FRn03Pは強調する フルスケールにわたる高い安定性と再現性、FRn03H は、ゼロ/フルスケール安定性の向上を特徴としており、どちらも再校正の負担とドリフト関連のメンテナンスの軽減を目的としています。
3) 容易な統合: I²Cデジタル+アナログ電圧出力
FRn03P は以下をサポートします:
- デジタルI²C出力 (100kHz)
- アナログ出力: 0.5~4.5 VDC
これにより、次のようなものへの統合に柔軟性が生まれます。 MCU、PLCゲートウェイ、データ収集システム、またはミックスドシグナルコントローラ。
4) 低圧力損失設計思想
熱式質量ガス流量センサーは、次のような理由から広く採用されています。 非常に小さな圧力損失 幅広いアプリケーションに適合します。
仕様例(FRn03P参照)
以下は、 FRn03Pシリーズ マニュアル (V1.1、2025年09月30日).
| Item | FRn03P(参考) |
|---|---|
| 流量範囲オプション | 最大流量は最大 50~5000 SCCM (モデル別) |
| 精度 | ±(2 + 0.5FS)% |
| 再現性 | 0.50% |
| 応答時間 | ≤50ミリ秒 |
| 最高使用圧力 | 500 kPa |
| 出力 | I²C + 0.5~4.5Vアナログ |
| 動作電圧 | 5〜15 VDC |
| 動作電流 | ≤30mA |
| 動作温度 | 0-50°C |
| 技法 | 乾燥した、清潔な、非腐食性のガス |
| 較正基準 | デフォルトの調整 20℃、101.325 kPaの空気 |
FRnシリーズ流量センサの代表的な用途

熱式質量ガス流量センサーは、次のような用途で広く使用されています。
- 産業プロセス制御 (マイクロフロー制御、投与、サンプリング)
- 医療機器 (フロー監視および制御サブシステム)
- ポータブル機器 (コンパクトで低圧力損失の計測経路)
- 環境モニタリング機器 / 空気サンプリング (正確なサンプリングのための安定したフローフィードバック)
Winsen は、エアサンプラーの統合に関するアプリケーション重視のガイダンスも提供し、MEMS 熱質量流量センサー (FR08-H0A など) をサンプリングデバイスの強力な選択肢として位置付けています。
標準と業界の背景
ウィンセンは業界標準の草案作成に参加したと述べている JB/T 13111-2017(熱式質量流量センサー).
規格の基本登録情報(JB/T 13111-2017; 公開 2017-04-12、実装 2018-01-01)は、中国の国家標準公共サービスプラットフォームに掲載されています。
クイック選択ガイド
選択する FRnシリーズ 必要な場合:
- マイクロフロープロセス制御 高速応答と安定した信号
- I²C出力 デジタル統合と診断用
- アナログ0.5~4.5V出力 レガシーコントローラまたはクイック検証用
- 低圧力損失 コンパクトなセンサー構造
どのモデルがあなたのレンジと設置に適しているかわからない場合は、ここにある全ラインナップから始めてください。
フローセンサーリスト: https://www.winsen-sensor.com/flow-sensor/
FAQ
FR シリーズと FRn シリーズの違いは何ですか?
FRnは、以下の点に重点を置いたアップグレード世代として位置付けられています。 ゼロ点およびフルスケール信号安定性の向上時間の経過や動作条件の変化によるドリフトを軽減するのに役立ちます。
FRn はデジタル通信をサポートしていますか?
はい。FRn03Pはサポートしています I²C (100kHz)。
FRn センサーをアナログのみのシステムで使用できますか?
はい。FRn03Pは 0.5~4.5Vアナログ出力 I²Cに加えて。
FRn はどのようなガスを測定できますか?
FRn03Pは、 乾燥した、清潔な、非腐食性のガスその他のメディアについては、Winsen に問い合わせて互換性とキャリブレーションの必要性を確認してください。
FRn センサーはどのように校正されますか?
FRn03Pは、デフォルトのキャリブレーションを示します。 20℃、101.325 kPaの空気お客様のご要望に応じて特別な校正も承ります。
FRnシリーズのデータシートとアプリケーションサポートを入手する
もしあなたが ガスの種類, 目標流量範囲(SCCM/SLM), 圧力、そして好ましい I²Cとアナログ出力、最適な FRn モデルを推奨し、関連する統合ノートとドキュメントを提供できます。